Olá catx
Não percebi se os resultados são, para cada (equipamento X local) um parâmetro, ou se é para cada (unidade amostral X equipamento X local) um parâmetro.
Mas sim, esse é o caminho usual; deve no entanto, testar 1.º se as amostras seguem distribuição normal, se têm variância homogénea e se as amostras são independentes. No caso de falha, destes pressupostos, pode ser optar por outros teste de ANOVA não paramétrica.